笔者从湖北省科技厅获悉，近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微半导体”）华中总部正式落户光谷，预计明年初正式投入运营。

  中微半导体成立于2004年，是国内半导体设备龙头企业。企业已开发出54种高端半导体设备，包括26种高能和低能等离子体刻蚀机设备，24种各类薄膜设备、化学机械抛光设备和量检测设备。其刻蚀设备已覆盖65纳米到3纳米工艺节点，刻蚀和薄膜设备的加工的精度已达到了原子级水平。

  中微半导体设备（武汉）有限公司已于7月28日完成注册，注册资本5000万元，将入驻光谷存算双创园。项目聚焦核心半导体设备研发，计划建设华中总部及研发中心，开展薄膜、刻蚀、外延等核心半导体设备的研发，服务武汉乃至华中地区重点客户。（姜胜来）